回顾了近50积年来中国真空计量的停滞历史。意思囊括真空(全压力)测量与校准、分压力测量与校准、气体微流量测量与校准,居中可对中国真空计量的历史渊源和异状有一个完全的理解。1、小引
2、真空测量与校准2.1、中国真空(全压力)测量的起步阶段
20世纪50年岁至60年岁,国内上研制出多种真空测量规,况且真空测量钻研正在于一个沉闷时代,这为中国真空测量的快捷停滞提供了可供龟鉴的成熟教训。在1957年,中国就曾经有了彻底试制的压缩式真空规、热负极水解规、超高真空B-A规、皮喇尼规和冷负极水解规等多种真空测量家伙[5],钻研者不仅从实践上面,而且从实际上面对该署真空规继续了深刻钻研。
1966年,兰州物理钻研所还研制顺利了存在中国独特格调的热负极中真空水解规。规管的电极采纳呆滞正交轴对称构造,电子减速极由一对平行相连的宽极板组成,离子收集极由一对平行相连的狭极板组成。2组极板在空间是相互垂直和轴对称的,其轴线上有始终热式敷氧化钇铱负极。该中真空水解规测量规模为10-4～50Pa,规管系数零散性小于10%。
压缩式真空规是20世纪60年岁中国真空测量钻研的一个热点,许多钻研者都做了简报。第一套(三只)行政区划规范的压缩式真空规在1962年由行政区划科委计量局、上海计量局、复旦大学、上海玻璃厂竞争制成[13],并经过行政区划鉴定。李旺奎在1964年研制的压缩式真空规[14],发现附着屏障是毛细血管中水银不规定静止的重要起因。因而,在毛细血管内名义涂一层3μm油层(DC2704),到底肃清了毛细血管中水银静止的异样景象,并采纳双磨口阀门构造,到底肃清了水银蒸气旋效应,能在1～10-3Pa规模继续相对真空测量和对其余绝对真空规继续校准。中国国民生量院也对原始的压缩式真空规继续了改良,预防了水银蒸气旋效应。
20世纪60年岁对冷负极水解规也做了一大批钻研,囊括潘宁规、磁控规和反磁控规,还提出了一些新构造冷负极水解规,如无磁场冷负极水解规[22]、正反磁控规[21],但该署冷负极水解规只能遮盖的测量规模为102～10-6Pa。2.2、20世纪70年岁以来真空测量的停滞
20世纪70年岁,中国真空测量有了更大停滞,真空测量家伙的品种越来越多,生意化程度也越来越高。1971年,北京真空量具厂研制出一种热负极水解规[25],该规采纳敷氧化钇的铱负极扩大下限,并采纳新型电极构造,经过电参数和电极转换,兑现一只规管测量10～10-7Pa的压力。尔后,在扩大热负极水解规测量上上限上面做了一大批钻研作业,如1974年清华大学研制的测量规模为102～10-3Pa的低压力水解规[26];1975年,北京大学研制的测量规模为102～10-4Pa的低压力水解规[27];1975年,陈建中研制的测量规模为10～10
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