ASM181T氦质谱检漏仪的元件作业原理
1.ASM181T氦质谱检漏仪的作业气路（图1）。
2.ASM181T氦质谱检漏仪作业预备内中（主动外部校准）
（1）预抽。合上检漏仪电源电门，粗抽泵启动，轮回批示按钮的绿色批示灯闪亮。
（2）当初压力达成设定值（大概5s后），P批示灯亮，分子泵启动，旋片式真空泵分子泵转速达成畸形转速大概须要2～3min，当分子泵转速达成畸形转速时，分子泵转速批示OK灯亮。同声，真丝启动，真丝电门批示灯闪亮大概8s后，批示灯亮，真丝点亮。
（3）检漏仪主动标定。AUTOCAL电门白色批示灯闪亮，那末没有故障，多少秒钟后绿色批示灯亮，外部漏孔通大气。示意检漏仪自检实现，能够作业了。3.ASM181T氦质谱检漏仪检漏内中
（1）粗抽。按下遥控器上的轮回启动按钮，粗检阀4翻开，遥控器右侧压力预示光柱上升。
（2）大漏检测形式。那末按下粗检按钮，信以为真空达成6×102MPa时，分子泵排气口阀6翻开，遥控器旁边光柱预示以后漏率。
（3）细检形式。那末不按下粗检按钮，信以为真空达成2×10-4MPa时，粗检阀4开放，细检阀5翻开，遥控器左侧光柱预示以后漏率。4.ASM181T氦质谱检漏仪的质谱室作业原理
质谱室作业原理（图2）。
质谱室是用来检测氦的分压强。当质谱室内的总压强（真空度）＜10-6MPa时，水解室中由钨丝制成的真丝启动，加热后产生高速电子轰击离子源中的气体分子，使分子水解。大全体的气体分子都能变成离子，离子在磁场中被（减速电压）减速，从而进入与其垂直的偏转磁场，相反品质数的离子其偏转半径相反。减速电压使得氦离子能够打到放大器的出口（电子加倍器），从而检测出氦离子流的强度，氦离子流与容器内的氦分压成反比，因而对氦离子的测量能够确定被检件的漏率。
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